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擴散爐多少錢一臺?擴散爐有哪些廠家?
2023-06-20 13:51:34   來源:貿(mào)易經(jīng)濟網(wǎng)  分享 分享到搜狐微博 分享到網(wǎng)易微博

擴散爐多少錢一臺?擴散爐有哪些廠家?

中國電子科技集團公司第四十八研究所

江西展宇新能源股份有限公司

青島華旗科技有限公司

賽姆柯(蘇州)智能科技有限公司

山東力冠微電子裝備有限公司

擴散爐數(shù)據(jù)指標

設備用途:用于大規(guī)模集成電路、電力電子、光電器件、光導纖維等行業(yè)的氧化、擴散、燒結(jié)、合金等工藝。

設備特點:單元組合方式。根據(jù)工藝的不同,可以在主機的基礎上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。

主要技術指標:

爐管數(shù):1~4管

配工藝管口徑:Φ90~360 mm (3~12英寸)

恒溫區(qū)長度:760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)

單點穩(wěn)定性:±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)

氣源路數(shù): ≤7路,可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器

氣體控制: 浮子/質(zhì)量流量計

懸臂舟參數(shù):速度: 20~1000 mm/min 行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 載荷:17 Kg

超凈工作臺:凈化等級:100級(萬級廠房)

噪音: ≤62dB(A)

振動: ≤3μm



[責任編輯:ruirui]





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